内孔台阶R5圆弧的编程方法如下：
确定工件坐标系和刀具坐标系
确定工件的坐标系和刀具的坐标系，以便在编程时准确描述刀具路径。
编写圆弧插补指令
使用G02或G03指令来描述刀具的圆弧运动方向和半径。G02指令表示顺时针方向的圆弧，G03指令表示逆时针方向的圆弧。指令后跟着刀具移动的终点坐标和圆弧的半径。
确定刀具路径
根据工件的几何形状和所需的圆弧半径，确定刀具路径。可以使用CAD软件或手动计算来确定刀具路径。
选择合适的刀具
根据工件材料和切削要求，选择合适的刀具进行加工。对于R5圆弧，可以使用球头铣刀、圆弧刀具或圆弧铣刀等刀具。
设置刀具参数
根据刀具的尺寸和加工要求，设置刀具参数，如刀具半径、进给速度、切削深度等。
刀具半径补偿
考虑到刀具尺寸和刀具半径补偿，调整刀具路径和刀具半径补偿值。根据刀具的半径，可以使用G41或G42指令进行刀具半径补偿。
G代码：
```
G90 G20
G00 X0 Y0
G02 X50.0 Y50.0 R5.0 F100
G00 X100.0 Y100.0
G00 X0 Y0
M30
```
解释：
G90：设置坐标系为工件坐标系。
G20：设置单位为毫米。
G00：快速移动到起始点 （0, 0）。
G02：以顺时针方向切削半径为5.0毫米的圆弧，终点坐标为 （50.0, 50.0）。
G00：快速移动到终点 （100.0, 100.0）。
G00：快速移动回起始点 （0, 0）。
M30：结束程序。
通过以上步骤，可以实现内孔台阶R5圆弧的编程。需要注意的是，在编程过程中要确保所有坐标系和参数设置正确，以保证加工路径的准确性和刀具的正确使用。