加工内圆球刀尖半径补偿的编程步骤如下：
确定刀具的刀尖圆弧半径
首先需要确定所使用的刀具的刀尖圆弧半径，通常可以在刀具制造商的产品手册中查找。
计算半径补偿值
根据所需的加工尺寸，计算出半径补偿值。例如，如果需要加工一个直径为100mm的内孔，刀具的刀尖圆弧半径为10mm，则半径补偿值为10mm。
编写程序
在编写程序时，需要使用相应的G代码来指定半径补偿。通常，G41用于左补偿，G42用于右补偿，G40用于取消补偿。
示例程序：
```
G41 G01 X0 Y0 Z10 D10 ; 启用刀具半径补偿，左补偿，补偿值为10mm
G01 X50 Y0 Z-5 ; 沿X轴移动50mm
G01 X100 Y0 Z-10 ; 沿X轴移动100mm
G40 ; 取消刀具半径补偿
```
输入补偿值
在程序中指定半径补偿后，需要在加工参数表中输入补偿值。通常，可以在刀具参数选项卡中找到半径补偿值。
进行加工
完成上述步骤后，可以开始进行加工。在加工过程中，数控系统会自动计算刀具中心轨迹，并将刀具沿着中心轨迹运动，从而加工出所要求的内孔轮廓。
需要注意的是，刀具半径补偿编程的具体语法和指令可能会有所差异，取决于不同的数控系统和编程语言。因此，在实际应用中，需要根据具体的数控设备和编程软件来选择合适的编程方式。