三菱M30的子程序编程步骤如下：
创建子程序
使用MELSEC Medoc软件创建一个新的程序。
选择子程序模块。
编写子程序逻辑
根据需求编写子程序的逻辑，可以使用条件语句、循环语句和算术操作等来实现所需的功能。
在编程过程中，需要注意变量的声明和使用，以及正确的语法和命令。
保存子程序
将编写好的子程序保存。
加载子程序到主程序
将保存的子程序加载到主程序中进行调用，确保在程序执行过程中能够正确地调用和执行子程序。
需要注意的是，M30指令通常用于主程序的结尾，而不是子程序的结尾。如果在子程序中使用M30指令，控制器会跳过子程序并返回到主程序的起始位置。
建议：
在编写子程序时，确保逻辑清晰、简洁，并遵循三菱M30的编程语法和规则。
在使用M30指令时，要确保它位于子程序的合适位置，以便在需要时能够正确地结束子程序并返回到主程序。