数控铣内凹槽圆的编程步骤如下：
确定工件坐标系
确定工件在数控机床上的坐标系，通常以工件上某一点为基准点，建立直角坐标系。
确定刀具半径和进给量
根据圆槽的尺寸，选择合适的刀具，并确定刀具的半径。
根据加工要求确定进给量。
设定切削速度和主轴转速
根据工件材料和刀具类型，设定合适的切削速度和主轴转速，以保证加工质量和效率。
编写铣削指令
刀具半径补偿：根据刀具半径，设置合适的半径补偿值，以保证加工出的圆槽尺寸与设计要求一致。
切削路径选择：根据圆槽的形状，选择合适的切削路径，可以是螺旋路径、直线路径等。
进给速度设定：根据加工要求和工件材料，设定合适的进给速度，以控制切削速率。
切削深度设定：根据加工要求，设定合适的切削深度，以确保加工质量。
切削方向设定：根据切削路径和加工要求，设定合适的切削方向，可以是顺时针或逆时针。
编写辅助指令
除了铣削指令，还需要编写一些辅助指令，如刀具半径补偿取消、切削深度变化等，以便控制加工过程。
设定工件坐标
将铣削起点和终点的坐标值输入数控机床，以确定加工的位置和范围。
检查编程程序
在进行实际加工前，应通过模拟或空运行等方式，检查编程程序的正确性和合理性，确保加工质量和安全。
具体的编程示例如下：
```plaintext
G21; 使用毫米单位
G90; 绝对坐标编程
G41D01; 左刀补，D01表示刀补号
G0X0Y0; 移动到起始位置
G1Z-5F100; 切削深度为5mm，进给速度为100mm/min
G3X10Y10I5J5; 逆时针加工凹圆弧，起点为(X0,Y0)，圆心相对位置为(I5,J5)
G0Z5; 提刀至安全位置
M30;
```
在这个示例中：
`G21` 设定单位为毫米。
`G90` 设定为绝对坐标编程。
`G41` 设置左刀补。
`G0` 移动到起始位置。
`G1` 进行切削，设定切削深度为5mm，进给速度为100mm/min。
`G3` 进行逆时针圆弧插补，指定圆心相对位置为（I5,J5）。
`G0` 提刀至安全位置。
`M30` 结束程序。
建议根据具体的加工需求和机床类型，调整上述步骤和指令，以确保编程程序的正确性和有效性。