CNC探头编程求平面度的一般步骤如下：
安装探头
将探头安装到CNC机床上，并确保其可以在X、Y、Z三个方向上移动。
设置工件坐标系
将工件放置在机床上，并设置好工件坐标系，以确保测量结果的准确性。
调整探头位置
将探头移动到需要测量的表面上，并将其调整到水平位置。
开始测量
启动CNC探头并开始测量，探头会在表面上扫描一定的范围，并记录下每个点的高度数据。
分析数据
将测量数据导入计算机，并使用相应的软件进行分析，计算出表面的平面度。
调整工件
根据测量结果进行必要的调整，使工件的表面平面度符合要求。
在编程方面，CNC探头的程序通常需要包含以下要素：
探头偏摆校正：确保探头的偏摆误差在0.002mm以内。
程序标定：对探头进行标定，以确保测量数据的准确性。
四面分中：程序能够将产品四面分中，以便进行更精确的测量。
测量平面度：编写程序以测量工件的平面度。
测量倾斜角度：如果需要，程序还应能够测量工件的倾斜角度。
这些步骤和要素可以帮助确保CNC探头在测量平面度时的准确性和可靠性。具体的编程方法可能会根据不同的CNC系统和探头的型号有所差异，建议参考相关的操作手册和软件教程进行详细的操作和编程。