凹圆弧半槽的编程步骤如下：
启动Mastercam9.0，并选择命令栏中的`Create, Arc`命令创建相关圆形。
2. 使用`Create, Surface, Primitive, Sphere`命令，并选择相关位置，完成相关球形曲面的创建。
3. 设置工件毛坯参数，选择命令栏中的`Toolpaths, Job setup`命令，进入`Job setup`对话框，并设置相关参数。
4. 完成工件毛坯的创建。
5. 选择命令栏中的`Toolpaths, Surface, Rough, Pocket`命令，并选择所有曲面，进入`Surface Rough Pocket`对话框，完成相关加工参数的设置。
6. 完成相关加工程序的编制。
7. 选择命令栏中的`Toolpaths, Surface, Finish, Scallop`命令，并选择所有曲面，进入`Surface Finish Constant Scallop`对话框，完成相关加工参数的设置。
8. 完成相关加工程序的编制。
9. 选择命令栏中的`Toolpaths, Circ tlpths, Circle mill`命令，并选择相关加工范围，进入`Circle mill parameters`对话框，完成相关加工参数的设置。
10. 完成相关加工程序的编制。
11. 选择命令栏中的`Toolpaths, Drill`命令，并选择相关加工范围，进入`Simple Drill-no peck`对话框，完成相关加工参数的设置。
请注意，以上步骤是基于Mastercam9.0软件的编程流程，具体操作可能会因软件版本或机床类型的不同而有所差异。在实际编程过程中，建议参考所使用软件的最新教程和指南，以确保编程的准确性和效率。