MO源，即 高纯金属有机化合物，是先进的金属有机化学气相沉积（MOCVD）、金属有机分子束外延（MOMBE）等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。MO源在研究和生产中种类繁多，超过70多种，概念已超出金属有机化合物的范围，现在通常指在MOCVD外延技术中作为基本材料使用的金属或元素有机化合物。MO源在半导体和航天领域具有战略性应用价值，实现国产化对发展我国半导体产业、提高国防实力、推动我国光电子及微电子产业发展具有重大意义。