齿轮铣内方槽的编程步骤如下：
定义加工的起点和终点坐标
在数学坐标系中确定切削路径的起点和终点坐标。
选择合适的坐标系
使用G54命令选择工件坐标系，确保刀具位置相对于工件原点的正确性。
快速定位
使用G00命令将刀具快速移动到内槽的起点位置。
直线插补
使用G01命令将刀具沿预定的直线路径进行线性插补，直到到达内槽的终点。
设定进给速度
使用F命令设定切削进给速度，通常以毫米/分钟为单位。
设定刀具位置
根据需要，使用X、Y、Z命令设定刀具在X、Y和Z轴上的具体位置，以确保刀具能够准确地切削出内槽。
考虑切削参数
根据实际情况，选择合适的刀具半径、进给深度、切削速度等参数，以达到理想的加工效果。
生成数控程序
使用数控编程软件将上述指令和参数整合成一个完整的数控程序，以便数控机床能够按照预定的轨迹进行加工。
示例代码
```plaintext
G90 G54
G00 X0 Y0 Z0 将机床工作坐标系设为绝对坐标系，并选择工件坐标系，快速定位到起始点
G01 X10 Y10 Z0 从起始点沿X轴移动10毫米，Y轴移动10毫米，Z轴保持不变，进行直线插补
F100 设定进给速度为100毫米/分钟
G01 X20 Y10 Z0 继续沿X轴移动20毫米，Y轴保持不变，Z轴保持不变，进行直线插补
... 根据实际需要，可以继续添加更多的直线插补指令
```
建议
在编写编程程序时，务必仔细检查每一步的坐标和参数设置，确保它们符合实际的加工要求。
可以使用仿真软件进行模拟加工，以验证编程的正确性和有效性。
在实际加工过程中，要密切监控机床的运行状态，及时调整参数以应对可能出现的问题。