SCCM是 体积流量单位，其英文全称为Standard-state Cubic Centimeter Per Minute，中文意为标况毫升每分。这个单位用于描述在标准状态（通常是标准温度和压力，即温度为273.15K，压力为101.325kPa）下，单位时间内通过某一点的气体体积。SCCM常用于气体或液体流量的测量和控制，尤其是在化学反应中，如化学气相沉积（CVD）等需要精确控制气体成分比的场合。