三菱铣内圆弧的编程步骤如下：
确定内圆弧的半径和圆心位置
根据设计图纸或要求，确定内圆弧的半径（R）和圆心位置（X0, Y0）。
选择刀具和刀具轨迹
根据内圆弧的半径和材料的特性，选择合适的刀具进行铣削。
确定刀具的轨迹，即刀具在铣床上的运动路径。
编写G代码
设定工件坐标系：通常以工件的零点为原点。
移动到初始点：使用G00指令移动到内圆弧的起始位置。
圆弧插补指令：
使用G02（顺时针圆弧插补）或G03（逆时针圆弧插补）指令，格式为`G02/G03 X_Y_Z_R_F；`，其中X_Y_Z是圆弧终点的坐标，R是圆弧半径，F是进给速度。
移动到终点：使用G00指令移动到内圆弧的终点位置。
示例程序
假设要铣一个半径为20毫米的内圆弧，圆心在（150, 0），使用直径为10毫米的铣刀，初始点为（0, 0, 50），进给速度为700毫米/分钟，切削深度为0.2毫米。
程序可能如下：
```
G90 G54 X0 Y0 Z50
G01 Z-20 F700
G02 X150 Y0 R20 F700
G00 Z50
```
建议
在编程前，务必仔细检查设计图纸，确保圆心位置和半径的准确性。
根据材料的硬度和刀具的材质，适当调整进给速度和切削深度，以保证加工质量和效率。
在实际加工中，可以先进行小范围的试切，验证程序的正确性，再逐步扩大加工范围。